特許
J-GLOBAL ID：200903015711810628
クリーンルーム用の物品移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-148580
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335712
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 従来よりも構造が簡単で且つコンパクトなクリーンルーム用の物品移載装置を提供する。【構成】 垂直軸芯回りに回転可能に主軸2を支持し、主軸2の上端部に開閉駆動部3を連結した。開閉駆動部3はチャックアーム部5を開閉し、チャックアーム部5は閉状態にて物品4を掴持する。昇降駆動部6と旋回駆動部7とは、いずれもは主軸2を介してチャックアーム部5を昇降、旋回させる。また、開閉駆動部3は第1のカバー8で覆われ、昇降駆動部6と旋回駆動部7とは第2のカバー9で覆われている。第1のカバー8内と第2のカバー9内とは主軸2に穿設した連通孔により連通している。排気ファン10は第2のカバー9内の空気を装置外部に排気する。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内で物品の受け渡しを行う物品移載装置において、垂直軸芯回りに回転可能に支持された主軸と、前記主軸の上端部に連結された開閉駆動部と、前記開閉駆動部によって開閉駆動され且つ閉状態にて物品を掴持する一対のチャックアーム部と、前記主軸を介して前記チャックアーム部を昇降させる昇降駆動部と、前記主軸を介して前記チャックアーム部を旋回させる旋回駆動部と、前記開閉駆動部を覆う状態に設けられた第1のカバーと、前記昇降駆動部と前記旋回駆動部とを覆う状態に設けられた第2のカバーと、前記第2のカバー内の空気を装置外部に排気する排気ファンとを備え、前記主軸に穿設した連通孔により前記第1のカバー内と前記第2のカバー内とを連通させたことを特徴とするクリーンルーム用の物品移載装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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