欠陥検査方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-067593
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267619
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】同一パターンが繰り返されているワークを撮像した検査画像から抽出される、背景と輝度が異なる各孤立領域について、重心を一致させて比較する場合でも、欠落や同形状異物等の欠陥をも確実に検査できるようにする。【解決手段】同一のパターンが繰り返し形成されている検査対象物を撮像し、入力された検査画像を画像処理してパターンの欠陥を検査する際、前記検査画像を所定の閾値で2値化して2値画像を作成し、該2値画像上の各孤立領域について重心を算出し、各重心を中心として、孤立領域を含む一定の大きさのオブジェクト近傍領域を切り出し、各オブジェクト近傍領域について、互いに重心を一致させて排他的論理和による比較演算を行い、この段階で正常と判定された全ての孤立領域について、6近傍の重心間距離Li(i=1〜6)を計算し、基準値と比較して欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

同一のパターンが繰り返し形成されている検査対象物を撮像して検査画像を入力し、入力された検査画像を画像処理してパターンの欠陥を検査する欠陥検査方法において、前記検査画像から背景の輝度と異なる孤立領域を抽出して抽出画像を作成し、抽出された各孤立領域について重心を算出し、算出された各重心を中心として、孤立領域を含む一定の大きさのオブジェクト近傍領域を切り出し、切り出された各オブジェクト近傍領域について、互いに孤立領域の重心を一致させて比較する演算を行うと共に、前記比較する演算によって正常と判定された任意の孤立領域について、前記抽出画像上で近傍に位置する各孤立領域との間で、前記重心間の距離を算出する演算を行うことを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (6件)：

G01N 21/956 , G01B 11/30 , G06T 1/00 300 , G06T 7/00 150 , G06T 7/60 150 , G06T 7/60

FI (6件)：

G01N 21/956 Z , G01B 11/30 A , G06T 1/00 300 , G06T 7/00 150 , G06T 7/60 150 C , G06T 7/60 150 J

Fターム (62件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA17 , 2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065BB02 , 2F065CC25 , 2F065FF02 , 2F065FF42 , 2F065HH13 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2F065MM07 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2F065QQ00 , 2F065QQ08 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ29 , 2F065QQ43 , 2F065RR06 , 2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051BB03 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA03 , 2G051DA06 , 2G051DA13 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051ED04 , 2G051ED23 , 5B057AA01 , 5B057BA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CE09 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC04 , 5B057DC06 , 5B057DC14 , 5B057DC36 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096FA01 , 5L096FA59 , 5L096FA60 , 5L096FA66 , 5L096GA34 , 5L096JA03

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