特許
J-GLOBAL ID：200903015719149823
ワイヤボンダ及びボンディング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-349083
公開番号（公開出願番号）：特開2003-152013
出願日： 2001年11月14日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：
【要約】【課題】 ワイヤボンディング時に適正な大きさのボールがワイヤの先端に再現性良く確実に形成出来るワイヤボンダを提供する。【解決手段】 ワイヤ5を繰り出すキャピラリ3、ワイヤ5をクランプするワイヤクランパ4、このワイヤクランパ4に電気的に接続されたワイヤ接触感知装置7、ワイヤ5の先端との間で放電を生じさせるための平坦な表面を有する電気トーチ本体部、この電気トーチ本体部の端部に一定の障壁高さを有するように設けられた電気トーチ突出部6aとを備えた電気トーチ6、電気トーチ6に接続された低圧電源23、電気トーチ6を水平方向に移動させる電気トーチ駆動装置6dとを備える。
請求項（抜粋）：
ワイヤを繰り出すキャピラリと、前記ワイヤをクランプするワイヤクランパと、該ワイヤクランパに電気的に接続されたワイヤ接触感知装置と、前記ワイヤの先端との間で放電を生じさせるための平坦な表面を有する電気トーチ本体部、該電気トーチ本体部の端部に一定の障壁高さを有するように設けられた電気トーチ突出部とを備えた電気トーチと、前記電気トーチに接続された低圧電源と、前記電気トーチを水平方向に移動させる電気トーチ駆動装置とを備えることを特徴とするワイヤボンダ。
Fターム (2件)：
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