特許

J-GLOBAL ID：200903015719279506

透明膜を有するリードフレームの形状測定方法および測定機

発明者： 長久保 亮
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156899
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012540
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】透明膜を貼り付けたリードフレームの透明膜表面を検出すると共に、リードフレームの形状測定ができる形状測定方法および測定機を提供すること。【構成】透明膜を有するリードフレームの表面に測定機の発光部Aから散乱光を照射し、測定機の別の発光部Bから平行光を入射させ透明膜表面で反射した表面反射光R、および透明膜表面で屈折し透明膜内に入射し金属表面で反射した屈折反射光Sを受光し、これら二段の反射光を分離して検出することにより、光切断法を用いて透明膜を有するリードフレームの形状を測定する透明膜を有するリードフレームの形状測定方法、および、散乱光を照射する発光部Aと、平行光を投射する発光部Bとを有し、透明膜を有するリードフレームに発光部Bから該透明膜を有するリードフレームに平行光を投射し、表面反射光Rおよび屈折反射光Sを分離して検出し得るセンサーを有するリードフレームの形状測定機。

請求項（抜粋）：

透明膜を有するリードフレームの表面に測定機の発光部Aからある角度で散乱光を照射して透明膜の存在を明らかにし、該測定機の別の発光部Bから、投射光の一部が屈折して透明膜に入射し得る角度で該リードフレームに平行光を入射させ前記透明膜表面で反射した表面反射光R、および透明膜表面で屈折し透明膜内に入射し金属表面で反射した屈折反射光Sのそれぞれ二段の反射光を受光し、前記二段の反射光を分離して検出することにより、光切断法を用いて透明膜を有するリードフレームの形状を測定することを特徴とする透明膜を有するリードフレームの形状測定方法。