特許

J-GLOBAL ID：200903015721225278

マイクロマシンスイッチおよびその製造方法

発明者： 丸本 恒久
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119743
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311573
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構造のマイクロマシンスイッチを提供する。【解決手段】 第1および第2の高周波信号線1b,1aと、第1の高周波信号線1bの端部に固定されるとともに第2の高周波信号線1aの上方まで延在するカンチレバー11と、第2の高周波信号線1aに形成された第1の絶縁手段15と、カンチレバー11と第2の高周波信号線1aとの対向領域に形成された第2の絶縁手段14と、第2の高周波信号線1aの端部と第1の絶縁手段15との間に接続されかつ制御信号を印加する第1の制御信号線2とを備える。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されかつ制御信号に基づいて動作するマイクロマシンスイッチにおいて、各々の端部が離間して配置された第1および第2の高周波信号線と、前記第1の高周波信号線の端部に固定されるとともに前記第2の高周波信号線の上方まで延在しかつ導電性部材を含むカンチレバーと、前記第1または第2の高周波信号線に形成された第1の絶縁手段と、前記カンチレバーと前記第2の高周波信号線との対向領域に形成された第2の絶縁手段と、前記第1の絶縁手段が形成された方の前記第1または第2の高周波信号線の端部と前記第1の絶縁手段との間に接続されかつ直流電圧のレベル変化からなる前記制御信号を印加する第1の制御信号線とを備えることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。

IPC (4件)：

H01H 59/00 ,  B62D 57/00 ,  H01H 11/04 ,  H01P 1/12

FI (4件)：

H01H 59/00 ,  H01H 11/04 G ,  H01P 1/12 ,  B62D 57/00 B

Fターム (3件)：

5G023AA20 ,  5G023CA50 ,  5J012AA00