特許

J-GLOBAL ID：200903015724307763

ウェーハ端部清浄化方法及びその装置

発明者： 高山 雅弘 ,  辻 慎司
出願人/特許権者： ワイエイシイ株式会社
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310317
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138195
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】端部の表面及び裏面の異物除去を同時に行えると共に、従来のスクラブ洗浄では除去できない異物も除去できる。【解決手段】ウェーハ1を保持して回転するテーブル2と、ウェーハ1の端部の表面及び裏面に向けてそれぞれ配設され、高圧流体をウェーハ1の端部に吐出する一対の端部用ノズル3A、3Bと、端部用ノズル3A、3Bをウェーハ1の端部の形状に沿って移動させるシリンダー36と、端部用ノズル3A、3Bをウェーハ1の端部に対して適正な角度に傾斜させる端部用ノズル揺動手段10A、10Bとを備えている。

請求項（抜粋）：

回転駆動されるウェーハの端部の表面及び裏面に向けてそれぞれ端部用ノズルを配設し、この端部用ノズルより高圧流体を吐出させながらウェーハの端部の形状に沿って移動させ、ウェーハの端部の表面及び裏面を同時に清浄化させることを特徴とするウェーハ端部清浄化方法。