特許
J-GLOBAL ID：200903015727632355
表面観察用プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-003856
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213654
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】原子間力顕微鏡用プローブにおいて、探針部の形状を任意に設定でき、かつ、探針先端部の曲率半径が数十nmであるプローブを提供する。【構成】不純物をドープすることにより、シリコン基板上に探針とカンチレバーの原型を形成する。【効果】不純物をドープする時、イオンの打ち込み方向及び加速電圧等を変えることで、探針の形状を任意に設定できる。
請求項（抜粋）：
探針と、前記探針と試料表面間に作用する力を変位に変換するカンチレバーとから構成される表面観察用プローブにおいて、前記探針と前記カンチレバーとが半導体基板上に一体で形成され、かつ、少なくとも前記表面観察用プローブを構成する材料の一部あるいは全部が、不純物を1019原子/cm3 以上ドープしたシリコンであることを特徴とする表面観察用プローブ。
IPC (2件)：
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