ターゲット材

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：椎名彊 , 松本悦一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-191657
公開番号（公開出願番号）：特開2004-035919
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】本発明は、現在一般的に市販・流通し、使用・廃棄されている熱間加工法および熱間静水圧プレス(HIP)法等の廃棄ターゲット材を、容易に再生利用可能とし、該ターゲット材の生産コストを大幅に減少させるターゲット材を提供する。【解決手段】スパッタリングを行った廃棄ターゲットに、該廃棄ターゲット材と材質が同じターゲット材(被ターゲット材)を熱間静水圧プレス(HIP)により拡散接合し、一体となしたターゲット材。また、廃棄ターゲット材および被ターゲット材との接合面粗さを各々、中心線平均粗さ(Ra)100μm以下とした後、熱間静水圧プレス(HIP)により拡散接合し、一体となしたターゲット材。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

スパッタリングを行った廃棄ターゲットに、該廃棄ターゲット材と材質が同じターゲット材(被ターゲット材)を熱間静水圧プレス(HIP)により拡散接合し、一体となしたことを特徴とするターゲット材。

IPC (2件)：

C23C14/34 , G11B5/851

FI (2件)：

C23C14/34 A , G11B5/851

Fターム (15件)：

4K018AA06 , 4K018AA14 , 4K018AA19 , 4K018AA21 , 4K018AA40 , 4K018EA16 , 4K018FA06 , 4K018JA09 , 4K018JA12 , 4K018JA14 , 4K018KA29 , 4K029DC03 , 4K029DC04 , 4K029DC09 , 5D112HH09

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-093859
特開昭62-230967
高融点金属ターゲット材,及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-310117 出願人：東京タングステン株式会社

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