特許

J-GLOBAL ID：200903015731257062

実装装置

発明者： 照 太郎
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-022408
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228889
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は一つもしくは複数の半導体レーザーチップやマイクロ光学部品等を、高精度に位置調整して実装部品に実装する実装装置を提供する。【解決手段】実装装置1は、位置検出部2が6軸アクチュエータ3に取り付けられて、各軸方向で移動・回転可能となっており、位置検出部2は、光源としてのレーザダイオード、コリメートレンズ、対物レンズ、分岐器及び焦点検出部等を備えて、レーザダイオードとコリメートレンズとの距離が、レーザダイオードからの光束が平行光となる位置にコリメートレンズが配置・固定されている。実装装置1は、実装を施す部材である実装部品4に、一つもしくは複数の実装対象物5を実装する際に、実装部品4に対する実装対象物5の位置を位置検出部2で高精度に検出して、6軸アクチュエータ3で位置調整を行い、実装対象物5を実装部品4に実装する。

請求項（抜粋）：

半導体レーザチップ及びマイクロ光学部品等の実装対象物の位置を位置検出手段で検出して当該実装対象物を実装部品に実装する実装装置であって、前記位置検出手段は、前記実装対象物の位置検出用の光を出射する光源と、当該光源からの光速が平行光となる位置に配設されたコリメートレンズと、当該コリメートレンズを通過した光を前記実装対象物に集光照射する対物レンズと、前記実装対象物で反射されて前記対物レンズを通過した反射光に基づいて当該実装対象物との焦点検出を行う焦点検出手段と、を備えていることを特徴とする実装装置。

IPC (3件)：

G02B 6/42 ,  H01L 21/52 ,  H01S 5/022

FI (3件)：

G02B 6/42 ,  H01L 21/52 F ,  H01S 5/022

Fターム (11件)：

2H037AA01 ,  2H037BA02 ,  2H037BA11 ,  2H037DA03 ,  2H037DA22 ,  5F047FA73 ,  5F047FA83 ,  5F073AB04 ,  5F073EA29 ,  5F073FA23 ,  5F073FA30