特許

J-GLOBAL ID：200903015738491800

膜材がパターン形成された固体装置及びパターン形成方法

発明者： 納田 朋幸
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268326
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098909
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】例えば薄膜電極が基板表面にパターン形成された液晶表示装置にあって、ブラシスクラバ等による基板洗浄に伴う薄膜電極の損傷を防止する。【解決手段】ポリシリコン形TFT方式アクティブマトリックス液晶表示装置を構成するTFTアレイ側基板11の透明絶縁基板上にはITOにて形成される画素電極22がマトリックス状に設けられている。また、アレイ側基板11の透明絶縁基板上には、ブラシスクラバ等による基板洗浄の際に画素電極22が損傷すことを防止するために、画素電極22群の外周を囲むように同画素電極22より膜厚の薄いダミー膜5が設けられる。

請求項（抜粋）：

表面に適宜の膜材がパターン形成された状態でブラシ洗浄される固体装置において、当該装置の同一表面において前記膜材の外周を囲むようにパターン形成されたダミー膜を備えることを特徴とする膜材がパターン形成された固体装置。

IPC (4件)：

G09F 9/00 303 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330

FI (4件)：

G09F 9/00 303 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330 A