特許

J-GLOBAL ID：200903015742920855

赤外用干渉フィルター

発明者： 木原 信浩 ,  岡本 幹夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-035622
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244215
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】耐久性に優れ、帯域がシフトしたり、帯域幅が変化したりしない赤外用干渉フィルターを提供する。【構成】Siとその酸化物であるSiO2 を多層膜の各層に材料として使用し、スペーサー層をSiによって形成する。

請求項（抜粋）：

複数の層からなる赤外用干渉フィルターにおいて、各層がSiとSiO2 の2種類の物質により構成されたことを特徴とする赤外用干渉フィルター。