特許
J-GLOBAL ID：200903015751805201
加圧装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森田 寛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335520
公開番号（公開出願番号）：特開2001-150191
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：
【要約】【課題】 加工精度が高く、加圧力が大であり、かつ駆動エネルギーの小なる定点加工用の加圧装置を提供する。【解決手段】 所定距離を隔てて設けられた基板と支持板との間に移動可能に形成された第1のスライダおよび第2のスライダと、支持板に設けられた正逆回転可能のねじ軸と、第1のスライダに設けられねじ軸と螺合するナット部材と、第2のスライダをピストンを介して駆動するシリンダとからなり、第1のスライダに設けられたプランジャをシリンダ内に進入可能にかつプランジャの進入によりシリンダ内の供給流体の圧力が増圧されるように形成し、第2のスライダと基板との間に存在する被加圧体を加圧する。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板と所定距離を隔てて平行に設けられた支持板と、前記基板と支持板との間において基板および支持板と直交する方向に移動可能にかつ前記の方向に相対移動可能に形成された第1のスライダおよび第2のスライダと、前記支持板にこの支持板と直交するようにかつ正逆回転可能に支持されたねじ軸と、前記第1のスライダに非回転状態に設けられかつ前記ねじ軸と螺合するように形成されたナット部材と、前記第2のスライダをピストンを介して駆動する流体圧シリンダとからなり、前記第1のスライダまたは流体圧シリンダに設けられたプランジャを前記流体圧シリンダ内に進入可能にかつ前記プランジャの前記進入により流体圧シリンダ内の供給流体の圧力が増圧されるように形成し、前記第2のスライダと前記基板との間に存在する被加圧体を加圧することを特徴とする加圧装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B30B 1/18 B
, B30B 1/32 B
4E090AA01
, 4E090AB01
, 4E090BA01
, 4E090BA02
, 4E090CA07
, 4E090CC04
, 4E090EA01
, 4E090HA02
, 4E090HA03
, 4E090HA04
, 4E090HA06
, 4E090HA07
, 4E090HA08
, 4E090HA10
