特許
J-GLOBAL ID：200903015752555705
力学量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321511
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167400
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 製造が容易で、基板垂直方向と平行方向の力学量の検出を同時に行なえる力学量センサを提供する。【構成】 基板31にV字状の谷を設け、谷の傾斜部に電極33及び35を設け、このV字谷の形状に対応した形状の梁状構造体37を基板31上に搭載する。外部から力学量が加えられると、基板31表面と平行な方向及び垂直な方向いずれであっても梁状構造体37が変位し、梁状構造体37と電極33及び35の間の静電容量が変化する。そして、この静電容量の変化を検出することにより、力学量の大きさを求めることができる。
請求項（抜粋）：
傾斜面及びこの傾斜面に形成された電極を有する基板と、前記傾斜面に面対向し外力等の力学量により変位する導電性の梁状構造体と、を有し、前記電極と梁状構造体の間の静電容量の変化を検出することにより、力学量を前記梁状構造体の変位量として検出する力学量センサ。
IPC (5件)：
G01L 1/14
, G01B 7/00
, G01L 5/16
, G01L 9/12
, G01P 15/125
