特許
J-GLOBAL ID：200903015754694583
板状体の保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-271152
公開番号（公開出願番号）：特開平6-091463
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 板状体を均一な保持力によって保持し、板状体裏面への異物の付着を低減する。【構成】 スピンナヘッド1のウエハ保持面17にウエハ1の裏面に点状に接触する凸部20が複数個、全体にわたって形成され、保持面17における隣合う凸部、20、20間の真空吸引溝21の底部に真空吸引口22が溝21の空所に連通するように接続されている。【効果】 保持面17に形成された凸部20群の先端部のみがウエハ1の裏面に点接触するため、ウエハ裏面に異物が付着する確率を低減できる。真空吸引口22は溝21内に接続されているため、真空吸引口22が開設されることにより凸部20の欠落箇所が保持面17に局所的に形成されてしまう状況は発生しない。凸部20群はウエハ1の裏面を全体にわたって均一に支持できるため、板状体の変形を防止できる。
請求項（抜粋）：
保持体の一主面に板状体の裏面を真空吸着する保持面が形成されている板状体の保持装置において、前記保持面に前記板状体の裏面に点状に接触する凸部が複数個、全体にわたって配されて形成されているとともに、この保持面における隣合う凸部の間に真空吸引口が隣合う凸部間の空所に連通するように接続されていることを特徴とする板状体の保持装置。
IPC (3件)：
B23Q 3/08
, H01L 21/027
, H01L 21/68
