特許

J-GLOBAL ID：200903015760754091

有機エレクトロルミネセンス表示パネル、その製造方法、及びその成膜装置

発明者： 大下 勇 ,  村山 竜史 ,  安彦 浩志
出願人/特許権者： 東北パイオニア株式会社
代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-089441
公開番号（公開出願番号）：特開2001-273976
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【目的】 有機EL媒体層や電極の損傷や汚染がなく、高精度なパターニングの施された有機EL表示パネル、その製造方法、及びその成膜装置を提供する。【解決手段】 基板を保持する工程と、基板上に第1電極層、少なくとも1層の有機層及び第2電極層を順次形成する工程と、を有し、上記第1電極層、少なくとも1層の有機層及び第2電極層のうち少なくとも1層を形成する工程は、磁性体マスクを用いて蒸着する蒸着工程を含み、該蒸着工程は、基板及び磁性体マスクを所定間隔だけ隔てるスペーサを基板及び磁性体マスク間に介在せしめかつ磁性体マスクを磁気吸着しつつ実行される。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の発光部からなる画像表示配列を有する有機エレクトロルミネセンス表示パネルの製造方法であって、前記基板を保持する工程と、前記基板上に第1電極層、少なくとも1層の有機層及び第2電極層を順次形成する工程と、を有し、前記第1電極層、前記少なくとも1層の有機層及び前記第2電極層のうち少なくとも1層を形成する工程は、磁性体マスクを用いて蒸着する蒸着工程を含み、前記蒸着工程は、前記基板及び前記磁性体マスクを所定間隔だけ隔てるスペーサを前記基板及び前記磁性体マスク間に介在せしめかつ前記磁性体マスクを磁気吸着しつつ実行されることを特徴とする製造方法。

IPC (5件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14

FI (5件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 G ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A

Fターム (15件)：

3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029BA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029DB06 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 有機電界発光素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-095188   出願人：東レ株式会社
• 表面加工用冶具及び表面加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-267890   出願人：ソニー株式会社