特許

J-GLOBAL ID：200903015764221829

マイクロポンプの流体送りヘッド

発明者： 山 田 孝 弘 ,  安 藤 信 二 ,  成 瀬 好 廣
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社 ,  株式会社新産業開発
代理人 (1件)： 杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287191
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139472
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：

【要約】【目的】 圧力衝撃を少なくする。送出効率を高くする。送出量が正確でしかも低流量のマイクロポンプを実現する。【構成】 第1ポ-ト(11),第2ポ-ト(12)およびそれらを連通とする連通溝(13)を有する流路手段(10);それぞれが、連通溝(13)の開口に表面が露出し通流溝(13)に対して膨出/退避しうる、連通溝(13)に沿って第1ポ-ト(11)から第2ポ-ト(12)の方向に配列された複数個のダイアフラム(21a〜21e);および、前ダイアフラム(21a〜21e)に関して連通溝(13)の反対側に配設され、各ダイアフラムの裏面に対向する複数個の作動気体空間(22a〜22e)を有するダイアフラム支持手段(20);を備え、流路手段(10)の通流溝(13)は、その長手方向と直交する横断面がダイアフラムの膨出形状に合った曲線の底面を有する。

請求項（抜粋）：

被駆動流体吸入用の第1ポ-トと送出用の第2ポ-トおよびそれらを連通とする通流溝を有する流路手段;それぞれが、前記通流溝の開口に表面が露出し該通流溝に対して膨出/退避しうる、前記通流空間に沿って第1ポ-トから第2ポ-トの方向に配列された複数個のダイアフラム;および、前記ダイアフラムに関して前記通流溝の反対側に配設され、各ダイアフラムの裏面に対向する複数個の作動気体空間を有するダイアフラム支持手段;を備え、前記流路手段の通流溝は、その長手方向と直交する横断面が前記ダイアフラムの膨出形状に合った曲線の底面を有する;マイクロポンプの流体送りヘッド。

IPC (3件)：

F04B 43/12 ,  F04B 43/067 ,  F04B 43/06

FI (2件)：

F04B 43/06 C ,  F04B 43/06 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 流体制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-178482   出願人：アイシン精機株式会社