特許

J-GLOBAL ID：200903015768344607

電子プローブマイクロアナライザー

発明者： 丹羽 直昌
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019801
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223057
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 電子プローブマイクロアナライザーにおいて、試料表面形状が変化した場合であっても、オートフォーカスによる自動高さ補正を破綻させることなく線分析やマッピング分析を継続して行い、信頼性の高い測定データを得る。【解決手段】 電子線の照射によって試料から放出される特性X線により試料表面の元素分析を行う電子プローブマイクロアナライザー1において、光学的焦点位置検出装置2と、試料ステージ6をX,Y軸方向及びZ軸方向に駆動するステージ駆動手段7と、光学的焦点位置検出装置2からの合焦信号レベルに応じて、試料ステージ6のX,Y軸方向の駆動速度を制御する駆動速度制御手段3とを備え、試料表面の変化に応じたX,Y軸方向の駆動速度制御を行うことによって、オートフォーカス制御による継続した自動高さ補正を可能とし、測定データの信頼性を高める。

請求項（抜粋）：

電子線の照射によって試料から放出される特性X線により試料表面の元素分析を行う電子プローブマイクロアナライザーにおいて、光学的焦点位置検出装置と、試料ステージをX,Y軸方向及びZ軸方向に駆動するステージ駆動手段と、光学的焦点位置検出装置からの合焦信号レベルに応じて、試料ステージのX,Y軸方向の駆動速度を制御する駆動速度制御手段を備える、電子プローブマイクロアナライザー。

IPC (3件)：

H01J 37/252 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20

FI (3件)：

H01J 37/252 B ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 Z

Fターム (19件)：

2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001CA07 ,  2G001FA11 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001JA02 ,  2G001JA11 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC05 ,  5C033QQ05 ,  5C033QQ11