特許
J-GLOBAL ID：200903015769129246
ウエハ支持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-168294
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021308
出願日： 1991年07月09日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】【目的】 振動の影響を無視できる冷却水の流速でも、吸着ブロックに変位が生じることがなく、さらに、制御および構成が簡略化されたウエハ支持装置を実現すること。【構成】 ウエハを保持する吸着ブロック101と、該吸着ブロック101の温度調節を行うためのペルチェ素子104とを備えたウエハ支持装置において、前記吸着ブロック101と一方の面で接する前記ペルチェ素子104の他方の面にはヒートパイプ105が設けられている。
請求項（抜粋）：
ウエハを保持する吸着手段と、該吸着手段の温度調節を行うためのペルチェ素子とを備えたウエハ支持装置において、前記吸着手段と一方の面で接する前記ペルチェ素子の他方の面にはヒートパイプが設けられていることを特徴とするウエハ支持装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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