特許

J-GLOBAL ID：200903015772170346

単結晶体の引き上げ制御方法及びその装置

発明者： 守田 潔 ,  高尾 滋良
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  ニッテツ電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-072313
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279177
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【目的】 単結晶体の直径制御を高精度で行なえるようにすること。【構成】 引き上げられる単結晶体を所定距離,所定の周期で振動させ、該振動によって生じる前記単結晶体の重量変化量を検出し、該重量変化量が常に一定となるように前記単結晶体を引き上げる。

請求項（抜粋）：

るつぼに収容されている融液から所望の直径の単結晶体を引き上げる単結晶体の引き上げ制御方法であって、該引き上げられる単結晶体を所定距離,所定の周期で振動させ、該振動によって生じる前記単結晶体の重量変化量を検出し、該重量変化量が常に一定となるように前記単結晶体を引き上げることを特徴とする単結晶体の引き上げ制御方法。

IPC (3件)：

C30B 15/28 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208