特許
J-GLOBAL ID：200903015773157300
X線発生用タ-ゲットとX線源とX線撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-336468
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188092
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 焦点サイズが微小であり、かつ、冷却可能なX線発生用タ-ゲットにより、高出力のX線線源を構成し、このX線線源を備えた高解像度のX線撮像装置を提供する。【構成】 支持体7に電子吸収層6を接合し、さらに、タングステン膜を蒸着したX線発生層5を有するタ-ゲットTに対し、微細な電子線1を照射する。電子線1の照射により発生した熱は冷媒16で冷却される。X線発生層5から発生したX線4を取りだし、試料48に照射し、その透過像をX線イメージインテンシファイア50と冷却形CCDカメラ54により検出する。電子線1のビーム径を1μm以下とし、X線発生層5のタングステン膜の1μmとすると、約1μmの微小焦点サイズのX線線源が得られ、このX線線源を備えたX線撮像装置により半影ボケのない鮮明なX線透視画像が得られる。
請求項（抜粋）：
照射された電子線を吸収しない厚さの薄いX線発生層と、このX線発生層を透過した電子を吸収する電子線吸収層とからなることを特徴とするX線発生用タ-ゲット。
IPC (4件)：
H05G 1/00
, H01J 35/08
, H04N 5/32
, H05G 1/64
