特許
J-GLOBAL ID:200903015773913172
感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
福沢 俊明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-023539
公開番号(公開出願番号):特開平6-214386
出願日: 1993年01月20日
公開日(公表日): 1994年08月05日
要約:
【要約】【目的】 光硬化後の樹脂版強度が優れるとともに、破断伸び、反発弾性等も良好で、優れた特性バランスを有する新規な水現像性感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 感光性樹脂組成物は、(1)?@脂肪族共役ジエン、?Aカルボキシル基含有エチレン径不飽和単量体および?B少なくとも2個の重合性不飽和基を有する化合物を主体とする単量体混合物の共重合体に、光重合性基を導入することにより得られる光重合性共重合体、(2)光重合性不飽和単量体、(3)アミノ基含有化合物、並びに(4)光重合開始剤を含有する。
請求項(抜粋):
(1)?@脂肪族共役ジエン10〜95モル%、?Aカルボキシル基含有エチレン系不飽和単量体0.1〜30モル%、?B少なくとも2個の重合性不飽和基を有する化合物0.1〜20モル%および?C他の共重合可能な単量体0〜30モル%を含有する単量体混合物(但し、?@+?A+?B+?C=100モル%)の共重合体に、それに含有される官能基を介して、光重合性基を有する化合物を反応させて光重合性基を導入することにより得られる光重合性共重合体、(2)光重合性不飽和単量体、(3)アミノ基含有化合物、並びに(4)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/027
, C08F299/00 MRN
, G03F 7/00 502
, G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, G03F 7/032
, H01L 21/027
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭63-132234
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特開昭52-039742
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特開昭50-089101
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