搬送ロボット及びその使用方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197638
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033948
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】同じ向き(互いに平行)に置かれたウエハキャリア等の試料を、容易にハンドリング可能な搬送ロボット及びその使用方法を提供する。【解決手段】搬送ロボットは、搬送アーム2、第一アーム4、第二アーム5を有し、第一アーム4と第二アーム5の組み合わせ制御により、R軸の制御を行う。R軸の制御は、アーム回転駆動軸3の中心が、θ軸中心を通らない直線上を移動するように、制御装置12により行われる。そして、ウエハ1を搬送する搬送アーム2は、常にこの直線に対して平行な姿勢を保ったまま移動するように、アーム回転駆動軸3により回転制御される。これにより、複数の平行な直線上に同じ向き(互いに平行)に置かれた試料(ウエハ等)を、容易にハンドリングすることができる。

請求項（抜粋）：

少なくともR駆動軸及びθ駆動軸を備えた搬送ロボットにおいて、そのR軸先端に設置され、かつθ回転軸と平行の回転軸を有する回転駆動軸を介して試料を保持する保持アームと、少なくともθ軸中心を通らない複数の平行な直線上をこの直線と平行な姿勢を保って前記保持アームが進行するように前記R駆動軸、θ駆動軸及び回転駆動軸を制御する制御部とを有することを特徴とする搬送ロボット。

IPC (3件)：

B25J 9/06 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 9/06 D , B65G 49/07 D , B65G 49/07 E , H01L 21/68 A

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