特許
J-GLOBAL ID：200903015797223800
静電チャック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323688
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163110
出願日： 1997年11月26日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 絶縁基板を保持固定又は搬送するのに十分な吸着力が得られる静電チャックを提供する。【解決手段】 少なくとも2個以上の電圧印加電極7、8を有する絶縁性誘電体層3上に載置した絶縁基板(液晶表示装置用ガラス基板)6を電気的に吸着する静電チャックにおいて、吸着される絶縁基板(液晶表示装置用ガラス基板)6に形成された吸着電極9に正及び負の電界がかかるように、絶縁基板に電圧印加電極を形成してなる静電チャック。
請求項（抜粋）：
少なくとも2個以上の電圧印加電極を有する絶縁性誘電体層上に載置した絶縁基板を電気的に吸着する静電チャックにおいて、吸着される絶縁基板に形成された吸着電極に正及び負の電界がかかるように、絶縁基板に電圧印加電極を形成してなる静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
, H02N 13/00 D
