特許

J-GLOBAL ID：200903015799147400

窒化物系化合物半導体の熱処理方法

発明者： 河合 弘治 ,  朝妻 庸紀 ,  宮嶋 孝夫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-181417
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012624
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 従来に比べて高キャリア濃度のp型窒化物系化合物半導体を得ることができる窒化物系化合物半導体の熱処理方法を提供する。【解決手段】 有機金属化学気相成長法により、Mgなどのアクセプタ不純物がドープされたGaNなどの窒化物系化合物半導体を成長させた後、窒素などの不活性ガスと窒素放出過程において窒素を放出しない窒素含有炭化水素とからなる雰囲気中においてその窒化物系化合物半導体を熱処理する。窒素含有炭化水素としては、窒素と結合しているヒドロ基とアルキル基および/またはフェニル基とを含み、かつ、ヒドロ基の数はアルキル基の数とフェニル基の数との和以下であるもの、例えばトリメチルアミンを用いる。

請求項（抜粋）：

アクセプタ不純物がドープされた窒化物系化合物半導体を熱処理することにより上記アクセプタ不純物を活性化させるようにした窒化物系化合物半導体の熱処理方法において、窒素放出過程において水素を放出しない窒素含有炭化水素を含む雰囲気中において上記窒化物系化合物半導体を熱処理するようにしたことを特徴とする窒化物系化合物半導体の熱処理方法。