特許
J-GLOBAL ID：200903015800652939
ゲッタフラッシュ検査装置及び検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289380
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110317
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 人手によらず、高精度のゲッタフラッシュ検査を効率よく行う。【解決手段】 CRT10のゲッタフラッシュを光量センサ110で検出し、その検出光量に対応した電流信号を電流/電圧変換器120で電圧信号に変換し、マルチプレクサ130に出力する。マルチプレクサ130により、6つの入力電圧信号を順番に切替えて、A/D変換器140に出力し、このA/D変換器140からのデジタルデータをデータメモリ150に順番に格納することにより、6つのCRTのサンプリングデータを収集する。そして、CPU160は、そして、このサンプリング後にデータメモリ150に記憶された各CRT10のサンプリングデータを順次読み出し、一定の基準時間に対する総発光量を算出し、この総発光量を基準値と比較することにより、ゲッタリングの成否を判定する。
請求項（抜粋）：
真空管内に飛散したゲッタを加熱することにより、前記真空管内の真空度を高めるゲッタリング工程で、ゲッタ加熱時における発光量を検査するゲッタフラッシュ検査装置において、前記ゲッタ加熱時における発光量を検出する光量検出手段と、前記光量検出手段からの検出信号を時間軸上でサンプリングするサンプリング手段と、前記サンプリング手段によって得られたサンプリングデータに基づいて、発光量の変化特性を解析し、発光状態の良否を判定する判定手段と、を有することを特徴とするゲッタフラッシュ検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/42 A
, H01J 9/39 A
