インクジェットプリンタヘッドのオリフィスプレートの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏木慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-191907
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001963
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】【課題】ノズル付近でのインクのメニスカスを安定させて、インクジェットプリンタヘッドでのインクの吐出速度や吐出体積を良好に制御する。【解決手段】表面にフッ素含有ポリイミド膜9を成膜した基材10に対して、基材10とフッ素含有ポリイミド膜9とを貫通するノズル7を形成する。これにより、ノズル7内面にフッ素含有ポリイミド膜9が成膜されることがないため、各ノズル7毎における、フッ素含有ポリイミド膜9の成膜状態を等しくして、ノズル7付近でのインクのメニスカスを安定させることができる。

請求項（抜粋）：

基材の表面にフッ素含有ポリイミド膜を成膜する成膜工程と、前記成膜工程で前記フッ素含有ポリイミド膜が成膜された前記基材にレーザー光を照射することにより前記基材と前記フッ素含有ポリイミド膜とを貫通するノズルを形成するノズル加工工程と、を備えるインクジェットプリンタヘッドのオリフィスプレートの製造方法。

Fターム (7件)：

2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AP13 , 2C057AP23 , 2C057AP54 , 2C057AQ03

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