特許
J-GLOBAL ID：200903015810624321
プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-320524
公開番号（公開出願番号）：特開平7-175005
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】ガルバノミラーの薄型化及び小型化を図ることを目的とする。【構成】シリコン基板2に、平板状の可動板5と該可動板5を揺動可能に軸支するトーションバー6とを一体形成する。前記可動板5の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面コイル7と、該平面コイル7で囲まれる上面中央部に全反射ミラー8を設ける。更に、シリコン基板2の上下面にガラス基板3,4を設け、これらガラス基板3,4の所定位置に、平面コイルに磁界を作用させる永久磁石10A,10B及び11A,11Bを固定する構成とする。また、このガルバノミラーを半導体素子の製造プロセスによって製造する。
請求項（抜粋）：
半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設け、半導体基板の上面には少なくとも可動板上方を開放した上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定する構成としたことを特徴とするプレーナー型ガルバノミラー。
IPC (2件)：
G02B 26/10 104
, B41J 2/44
