特許

J-GLOBAL ID：200903015811299670

ゲッタポンプモジュール及びシステム

発明者： クルーガー, ゴードン, ピー. ,  ロリマー, ダーシィ, エイチ. ,  カレラ, セルジオ ,  コンテ, アンドレア
出願人/特許権者： セイス ピュア ガス インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-519076
公開番号（公開出願番号）：特表平10-510024
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】ゲッタポンプモジュールは軸穴を備えた多数のゲッタディスクと、穴を通って延び、このゲッタディスクを支持、加熱する加熱要素とを有している。ゲッタディスクは、加熱要素に係合するチタンボスを備えた固形で、多孔性で、焼結されたディスクであることが好ましい。断熱シールドが設けられ、チャンバ内の熱源と加熱シンクからゲッタディスクを遮蔽し、ゲッタディスクの迅速な再生を助長する。本発明のある実施形態においては、熱シールドは固定式のものであり、別の実施形態では、熱シールドは移動可能である。一実施形態においては、フォーカスシールドが設けられ、熱エネルギーを外部のヒータ要素からゲッタ材料に反射させ、ポンプ速度を速くする。本発明のある実施形態はまた、回転ゲッタ要素を設け、ゲッタ材料利用性を向上させる。

請求項（抜粋）：

a)多孔性で焼結されたゲッタ材料からなる複数の固形ゲッタ要素であって、それぞれを通って延びる開口を有した複数の固形ゲッタ要素と、 b)前記開口を通って延びる、前記ゲッタ要素を支持するための支持要素と、を備えるゲッタポンプ。