特許
J-GLOBAL ID：200903015812630531
焦電型赤外線センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-131580
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194226
出願日： 1992年04月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 応答性の良い焦電型赤外線センサ、ならびにクロストークの影響を無視できる小型のマルチエレメントの焦電型赤外線センサを提供する。【構成】 絶縁材料、半導体材料あるいは複合材料からなる基板表面に、ガラス質層を形成し、焦電体基板の貼り合わせ面にガラス質層と十分に固溶する元素あるいは化合物の蒸着あるいはイオン注入を行い、前記基板と焦電体基板を貼り合わせ、熱的処理あるいは電気的処理により、前記基板と焦電体基板とを固溶させ、焦電体基板部分のみを研磨工程により薄片化し、下部に空隙を持つよう基板を部分的に除去することにより焦電型赤外線センサを構成する。【効果】 焦電型赤外線センサの変換効率、応答性を改善し、各素子の熱的分離ができる。
請求項（抜粋）：
絶縁材料、半導体材料あるいは複合材料からなる基板表面に、ガラス質層を形成し、焦電体基板の貼り合わせ面に、ガラス質層と十分に固溶する元素あるいは化合物の蒸着あるいはイオン注入を行い、前記基板と焦電体基板を貼り合わせ、熱的処理あるいは電気的処理により、前記基板と焦電体基板とを固溶させ、焦電体基板部分のみを研磨工程により薄片化し、下部に空隙を持つよう、基板を部分的に除去させた赤外線検知部を1ヶ所以上有することを特徴とする焦電型赤外線センサ。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/00
