特許
J-GLOBAL ID：200903015816543340
力学量センサ、及び、力学量センサの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-011109
公開番号（公開出願番号）：特開平9-203746
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】重錘体の動きを確実に制限できる力学量センサ、及び、力学量センサの製造方法を提供する。【解決手段】作用部14、作用部14の周囲に形成された可撓部13、及び、可撓部13の周囲に形成された固定部15を有する検出体と、第2基板部22及び第3基板部32から成る重錘体と、第2基板部21及び第3基板部31から成る支持体とを備える。第2基板部21及び第2基板部22は、第2基板20から切り出される。第3基板部31及び第3基板部32は、第2基板20よりも切削抵抗が小さい第3基板30から切り出される。重錘体の第3基板部32には、支持体の第2基板部21の下方側に張り出した突縁32aが形成されている。
請求項（抜粋）：
作用部と、該作用部の周囲に形成された可撓部と、該可撓部の周囲に形成された固定部を有する検出体と、前記作用部の下面に接合された重錘体と、前記重錘体を隙間をあけて囲む、前記固定部の下面に接合された支持体とを備え、前記可撓部には、該可撓部の撓み量に応じて電気抵抗が変化する抵抗部が形成され、前記重錘体及び前記支持体のそれぞれが、前記検出体側に位置する第1の層と、該第1の層の下面に接合された、該第1の層よりも切削抵抗が小さい第2の層を含んで構成された力学量センサにおいて、前記重錘体の第2の層には、前記支持体の第1の層の下方側に張り出した突縁が形成され、前記突縁の上面周縁部と、前記支持体の第1の層の下面との間には、第1のストッパーギャップが形成され、前記突縁の側面と、前記支持体の第2の層の内側側面との間には、前記重錘体の第1の層の側面と、前記支持体の第1の層の内側側面との間隔よりも小さい間隔の第2のストッパーギャップが形成されていることを特徴とする力学量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/12
, H01L 29/84 B
