プローブカード

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256186
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087440
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】同一のプローブ針支持体に設けた2列のプローブ針群を、ICチップの境界線を挟んだ2列の電極群に同時に接触させることで、隣り合うICチップを同時に検査可能にする。また、プローブ針に直接フラットケーブルを接続して、このフラットケーブルを中継基板を介してテスターに接続することで、プローブカードの基板への配線パターン形成を不要にする。【解決手段】両側のプローブ針支持体46a、46eは1列だけのプローブ針群を備えており、中央の3個のプローブ針支持体46b〜46dは第1列のプローブ針群52aと第2列のプローブ針群52bとを備えている。第1列のプローブ針群52aはICチップの第1列の電極群58aに接触し、第2列のプローブ針群52bは隣りのICチップの第2列の電極群58bに接触する。プローブ針群52a、52bはフラットケーブル62によって中継基板66の第1コネクタ68に接続されている。

請求項（抜粋）：

次の(ア)(イ)の特徴を備える検査対象を検査するためのプローブカードであって、(ウ)〜(カ)の特徴を備えるプローブカード。(ア)ウェーハ上に多数のICチップが同一パターンで形成されていて、各ICチップは第1列の電極群と第2列の電極群とを備えている。(イ)第1列の電極群と第2列の電極群はICチップの1対の対向する辺に沿って互いに平行に並んでいる。(ウ)少なくとも3個のプローブ針支持体が基板に固定されている。(エ)前記プローブ針支持体は互いに平行に配列されており、その配列ピッチは、検査すべきICチップの配列ピッチと等しい。(オ)両端のプローブ針支持体は1列のプローブ針群を備えている。(カ)両端以外のプローブ針支持体は2列のプローブ針群を備えている。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , G01R 1/073

FI (2件)：

H01L 21/66 B , G01R 1/073 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-083356
特開昭64-053429
特開平4-083356

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