特許

J-GLOBAL ID：200903015825471092

塗布法による酸化物薄膜の製造方法

発明者： 長谷 卓
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-024954
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226519
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 溶液塗布法による酸化物薄膜の形成において従来より安全性が高い溶媒を用いて従来と同等の特性の薄膜を得られる製造方法を提供する。【解決手段】 薄膜の構成元素である有機金属が1-メトキシ-2-プロパノールもしくは1-エトキシ-2-プロパノールを主成分とする溶媒に溶解している溶液を塗布溶液として用いる。好ましくは1-メトキシ-2-プロパノールもしくは1-エトキシ-2-プロパノールを主成分とする溶媒に有機金属を溶解した溶液に乳酸エチルが含まれているものを塗布溶液として用いる。

請求項（抜粋）：

有機金属を溶解した溶液を基板上に塗布しこれに熱処理を加えて酸化物薄膜を形成する塗布法による酸化物薄膜の製造方法において、薄膜の構成元素である金属元素の有機金属化合物を、1-メトキシ-2-プロパノールもしくは1-エトキシ-2-プロパノールの少なくともいずれか一方を主成分とする溶媒に溶解させた溶液を塗布溶液として用いることを特徴とする塗布法による酸化物薄膜の製造方法。

IPC (3件)：

C01G 23/00 ,  C23C 26/00 ,  H01G 7/06

FI (3件)：

C01G 23/00 C ,  C23C 26/00 C ,  H01G 7/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-196749
  
• 強誘電体薄膜形成剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-004570   出願人：三菱マテリアル株式会社