特許
J-GLOBAL ID:200903015833310782

物品の真空吸着搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池浦 敏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-334857
公開番号(公開出願番号):特開2001-150379
出願日: 1999年11月25日
公開日(公表日): 2001年06月05日
要約:
【要約】【課題】 物品解放時間を短縮することにより物品の搬送に要する時間を短縮することのできる真空吸着搬送装置を提供する。【解決手段】 受渡テーブル2は、取り込み位置Aで物品Pを真空吸着すると180°回転して、この物品Pを受渡位置Tに運ぶと、これに同期してカム56によって押し上げピン50が上方動してエゼクターピン30を押し上げ、このエゼクターピン30の上端を貫通垂直孔22を通じて吸着台16から上方に突出させる。
請求項(抜粋):
吸着面を備えた真空吸着手段を備え、該真空吸着手段により物品を吸着面に吸着してこれを物品解放位置まで搬送する真空吸着搬送装置において、前記物品解放位置に配設され、前記真空吸着手段の吸着面から突出して、該吸着面から物品を強制的に持ち上げる強制解除手段と、前記真空吸着手段に吸着された物品が前記物品解放位置まで搬送されてきたときに、これに同期して前記強制解除手段を作動させて前記吸着面から物品を強制的に持ち上げさせるための駆動手段とを備えていることを特徴とする真空吸着搬送装置。
IPC (2件):
B25J 15/06 ,  H01L 21/68
FI (3件):
B25J 15/06 Z ,  B25J 15/06 G ,  H01L 21/68 B
Fターム (11件):
3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007GU00 ,  3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061DC00 ,  5F031CA13 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031GA23 ,  5F031GA25

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