特許

J-GLOBAL ID：200903015833825103

欠陥検査装置

発明者： 深沢 俊夫 ,  永島 雅美 ,  永井 新一郎 ,  小野 純一
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080956
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270336
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 被検査物からの反射光を適切に評価し、被検査物の欠陥を精度よく検出する。【構成】 被検査物からの反射光のほぼ全体が集光レンズ7に入射し、レンズ7の結像面P1の中心正反射光領域での光量はフォトダイオード8により、また周辺散乱光領域での光量はフォトダイオード9により検出される。中心正反射光領域での受光光量(VDET1)が第1の基準値(VREF1)より低く(S1=1)、かつ周辺散乱光領域での受光光量(VDET2)が第2の基準値(VREF2)より高いとき(S2=1)、欠陥ありと判定される(S3=1)。

請求項（抜粋）：

被検査物に光を照射し、その反射光に基づいて被検査物の表面の欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記反射光のほぼ全体を集光する集光レンズと、該集光レンズの結像面近傍における、前記反射光の中心正反射光領域の光量を検出する第1受光素子と、前記集光レンズの結像面近傍における、前記反射光の周辺散乱光領域の光量を検出する第2受光素子と、前記第1受光素子により検出される光量と第1の閾値とを比較する第1比較手段と、前記第2受光素子により検出される光量と第2の閾値とを比較する第2比較手段と、前記第1及び第2比較手段による比較結果に基づいて前記被検査物表面の欠陥の有無を判定する判定手段とを設けたことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30