特許

J-GLOBAL ID：200903015833970480

アルゴンガスの精製方法

発明者： 春名 一生 ,  宇野 優
出願人/特許権者： 住友精化株式会社
代理人 (1件)： 細田 芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341500
公開番号（公開出願番号）：特開平6-166507
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【構成】不純物として少なくとも酸素を含有する粗アルゴンガスを精製する方法において、?@カーボンモレキュラーシーブを充填した吸着槽中に粗アルゴンガスを導き、該ガス中に含まれる酸素を圧力変動吸着法により吸着除去する工程、?A前記?@の工程により酸素が吸着除去された高濃度アルゴンガス中に残存する酸素を水素の存在下に触媒反応により水に転化する工程、および?B前記?Aの工程により転化した水分を乾燥して除去する工程を有することを特徴とするアルゴンガスの精製方法、並びにそれに用いる精製装置。【効果】本発明によると、触媒反応に要する高価な水素の量を従来より大幅に少なくすることができる。また、高濃度アルゴンガスをリサイクルする必要がなくなり、また触媒槽および乾燥装置を小さくすることができる。さらに過熱による触媒の劣化も少ない。

請求項（抜粋）：

不純物として少なくとも酸素を含有する粗アルゴンガスを精製する方法において、?@ カーボンモレキュラーシーブを充填した吸着槽中に粗アルゴンガスを導き、該ガス中に含まれる酸素を圧力変動吸着法により吸着除去する工程、?A 前記?@の工程により酸素が吸着除去された高濃度アルゴンガス中に残存する酸素を水素の存在下に触媒反応により水に転化する工程、および?B 前記?Aの工程により転化した水分を乾燥して除去する工程を有することを特徴とするアルゴンガスの精製方法。

IPC (4件)：

C01B 23/00 ,  B01D 53/04 ,  B01J 23/40 ,  B01D 53/36