特許

J-GLOBAL ID：200903015840648489

ウェーハ洗浄用キャリアの洗浄方法、および同方法に使用する洗浄装置

発明者： 岩本 嘉夫 ,  黒川 浩幸
出願人/特許権者： エム・イー・エム・シー株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136994
公開番号（公開出願番号）：特開2000-325897
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハ洗浄用キャリアの洗浄をより簡便な操作で、より確実に行うことができる洗浄方法、および同洗浄方法に使用可能な洗浄装置の提供。【解決手段】 適当な装置、例えば、複数のウェーハ洗浄槽(5)と、ウェーハ乾燥装置(6)、洗浄用ウェーハキャリアを移送するトラック(2)と、同トラックの駆動手段(図示せず)、ウェーハの搭載手段(4)、ウェーハを降ろす手段(4’)とからなるウェーハ洗浄装置において、洗浄槽(11)を洗浄装置内の特定箇所、または、洗浄装置の近傍に配設した装置を用い、その一部分を更新するために毎分当たり特定量オーバーフローさせつつ、所定温度に加温された温純水中にウェーハ洗浄用キャリアを所定時間浸漬し洗浄し、ついで、浸漬後洗浄用ウェーハキャリアを温純水から引き上げたままの状態で保持して風乾することにより達成。

請求項（抜粋）：

一定の速度で少なくともその一部が更新される温純水中にウェーハ洗浄用キャリアを所定時間浸漬する工程と、浸漬終了後ウェーハ洗浄用キャリアを浸漬していた温純水から引き上げたままの状態でその場に保持して風乾する工程とからなることを特徴とするウェーハ洗浄用キャリアの洗浄方法。

IPC (2件)：

B08B 3/04 ,  B65G 49/04

FI (2件)：

B08B 3/04 A ,  B65G 49/04 D

Fターム (7件)：

3B201AA26 ,  3B201AB01 ,  3B201BB04 ,  3B201BB82 ,  3B201BB93 ,  3B201CB01 ,  3B201CC12