特許

J-GLOBAL ID：200903015845385427

インクジェットヘッド及びその液室基板

発明者： 大高 剛一 ,  加藤 静一
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-346387
公開番号（公開出願番号）：特開2000-168076
出願日： 1998年12月07日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】【課題】 共通液室と加圧液室を同一の材料から形成し、かつ、2層構造とすることにより、液室を形成する材料を少なくし、かつ、小型の液室を形成できるようにする。【解決手段】 液室基板21は、単結晶Siの第1の面にエッチングで形成された第1の液室22(共通液室)と、該第1の面に対向する第2の面にエッチングで形成された第2の液室25とを有し、該第2の液室25(加圧液室)と前記第1の液室22とは第1の貫通孔23により連通されている。又、前記第2の液室25と前記単結晶Siの前記第1の面とは第2の貫通孔24とによって連通されている。第1の貫通孔13は共通液室22から加圧液室25へインク供給し、第2の貫通孔は、加圧液室25で加圧されたインクをノズルを通して吐出させる。

請求項（抜粋）：

単結晶Siから形成される液室基板であって、該液室基板は、単結晶Siの第1の面にエッチングで形成された第1の液室と、前記第1の面に対向する第2の面にエッチングで形成された第2の液室と、該第2の液室と前記第1の液室とを連通する第1の貫通孔と、前記第2の液室と前記単結晶Siの前記第1の面とを連通する第2の貫通孔とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの液室基板。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (15件)：

2C057AF37 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG29 ,  2C057AG44 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP14 ,  2C057AP24 ,  2C057AP34 ,  2C057AP60 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14