特許

J-GLOBAL ID：200903015847301620

磁気記録媒体の製造方法

発明者： 小林 功
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-272312
公開番号（公開出願番号）：特開平8-138244
出願日： 1994年11月07日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】 高保磁力/低ノイズな磁気記録媒体を実現する。【構成】 カーボン基板に下地層1としてCr(又はTi)をArガス圧(又はAr+N2 ガス圧)10〜 100mTorrの高圧雰囲気で膜厚 150nm以下にスパッタ成膜した後、下地層2としてCrをArガス圧5mTorr以下の低圧雰囲気でスパッタ成膜する。そして、磁気記録層として、Co-Cr-Pt合金、Co-Cr-Pt-Ta合金、あるいはCo-Cr-Pt-B合金を成膜する。

請求項（抜粋）：

カーボン基板上に、2層状の下地層、磁気記録層、保護層を成膜してなる磁気記録媒体において、最初にカーボン基板上に成膜される下地層1をArガス圧10〜 100mTorrの雰囲気で膜厚 150nm以下にスパッタ成膜した後、下地層2としてCrあるいはCr合金をArガス圧5mTorr以下の雰囲気でスパッタ成膜することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (2件)：

G11B 5/85 ,  G11B 5/66