特許
J-GLOBAL ID：200903015854328967
移載装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-316046
公開番号（公開出願番号）：特開平7-147310
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 従来の移載ロボットの機能を、エレベータと搬送台車構造に分離して持たせ、両者の協調作業によって、ウエハを搬送台車からエレベータに移載することによって、プロセス装置と、トンネル搬送装置との間の移載ロボットを不要にした。【構成】 処理装置3と、外気と隔離して被搬送物2を搬送台車1に搭載して搬送するトンネル搬送装置11との間にバッファチャンバ8を配設し、該バッファチャンバ8は前記搬送台車1を進入、停止、後退させる手段と、上下移動及び回転可能な支持軸12と該支持軸から張り出して前記被搬送物を載置する支持プレート9とを備えた。
請求項（抜粋）：
処理装置と、該処理装置に外気と隔離して被搬送物を搬送台車に搭載して搬送するトンネル搬送装置との間にバッファチャンバを配設し、該バッファチャンバは前記搬送台車を進入、停止、後退させる手段と、上下移動及び回転可能な支持軸と該支持軸から張り出して前記被搬送物を載置する支持プレートとを備えたことを特徴とする移載装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, B65G 54/02
, H02K 41/02
, B65G 47/90
