特許
J-GLOBAL ID：200903015861158953
窒化アルミニウムの大型単結晶の製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 高城郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-564648
公開番号（公開出願番号）：特表2006-511432
出願日： 2003年05月07日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】 AlNのバルク単結晶を製造する方法及び装置を提供する。【解決手段】 Al及びN2の原料物質を内包しバルク結晶を形成できる結晶成長筐体を具備し、装置は、結晶成長筐体内でAlに対して化学量論組成の分圧より高いN2分圧を維持する一方、全蒸気圧を超大気圧に維持する。少なくとも1つの核生成サイトが筐体内に設けられ、核生成サイトを筐体内の別の箇所より低温とする。その後Al及びN2の蒸気は核生成サイトにおいてAlN単結晶を成長させるべく堆積する。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムのバルク単結晶成長のための装置において、
成長チャンバを形成し、該成長チャンバを選択的に排気しかつ脱気するべく設けたガス出口と、該成長チャンバを加圧するべく設けたガス入口と、該成長チャンバ内の結晶成長温度の温度計測モニタリングのために設けた視認ポートとを具備するハウジングと、
前記成長チャンバ内に配置されかつ該成長チャンバ内に電磁場を誘導するべく設けた高周波コイルと、
前記高周波コイルが縦軸と該縦軸に沿った長さをもっており、該高周波コイル内に同軸に配置された石英管と、
前記石英管内に同軸に配置され、複数の5〜7cmの同心状の熱分解窒化ホウ素シリンダーを具備し、該熱分解窒化ホウ素シリンダーの各々が0.13cmより厚い壁厚であり、該熱分解窒化ホウ素シリンダーの各々が前記高周波コイルの長さより長い縦軸に沿った長さである第1組のシールドと、
前記第1組のシールド内に同心状に配置され、2つの同心状の開放接合タングステンシリンダーを具備し、該タングステンリンダーの各々が0.013cmより薄い壁厚である第2組のシールドとを有し、
前記タングステンリンダーの各々が、前記高周波コイルの長さよりも短い前記縦軸に沿った長さを具備し、
前記第2組のシールド内に同軸に配置され、近接サイドと遠隔サイドとをもち、該遠隔サイドには結晶成長温度の前記温度計測モニタリングのための中心孔を具備する金属バッフルの組を具備し、該近接サイドには別の金属バッフルの組を具備するプッシュ管と、
前記プッシュ管と同軸に配置され、円すい形状の遠隔端部と、近接端部とを具備し、結晶成長筐体を形成するルツボとを有し、
前記近接端部は、多結晶窒化アルミニウム原料物質を具備し、前記遠隔端部は前記窒化アルミニウムのバルク単結晶成長のために設けられ、
前記プッシュ管は、前記ルツボ及び前記プッシュ管を前記縦軸に沿って滑動させるべく組み込まれた押しロッド上に配置され、
前記第1組のシールド及び前記第2組のシールドは、前記ルツボの空洞内に前記縦軸に沿って100°C/cmより大きい温度勾配を形成する、窒化アルミニウムのバルク単結晶成長装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
4G077AA02
, 4G077BE13
, 4G077DA18
, 4G077EA02
, 4G077EA04
, 4G077EA06
, 4G077EA08
, 4G077EG15
, 4G077EG24
, 4G077EG25
, 4G077EG28
, 4G077HA02
, 4G077SA01
, 4G077SA07
, 4G077SA08
, 4G077SA11
出願人引用 (7件)
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米国特許No.5,858,085号明細書
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米国特許No.5,972,109号明細書
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米国特許No.6,045,612号明細書
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米国特許No.6,048,813号明細書
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米国特許No.6,063,185号明細書
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米国特許No.6,086,672号明細書
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米国特許No.6,296,956号明細書
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審査官引用 (3件)
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