特許
J-GLOBAL ID：200903015862910969
酸素濃度検出センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074523
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288978
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 低消費電力の、特に内燃機関の排気ガス再循環率測定用吸気管内酸素センサに適した、酸素濃度検出センサを提供すること。【構成】 酸素濃度検出センサのセンシングセル(101)及びポンピングセル(102)をチャンバの同じ面に隣接して形成し、同セル上に電気絶縁性の薄膜(1071)を介してヒーター(107)を直接形成し、センシングセル及びポンピングセルに用いるジルコニア酸素イオン伝導性固体電解質(101,102)として、スパッタリング法等で形成した薄膜を適用し、膜に平行する気体透過性の薄膜よりなる補強材(110)を併用して、膜を端部の支持のみによりチャンバ(104)の構成面の一部とした構成よりなる。
請求項（抜粋）：
酸素イオンを伝導し得る固体電解質(101,102;201,202)より成るセンシングセル及びポンピングセルと、前記センシングセル及び前記ポンピングセルに結合されて閉空間(104,204)を形成する関連支持構造体(105;205,215)と、前記閉空間の酸素分圧が周囲環境中の酸素分圧と等しくなる傾向を持つように前記閉空間と前記周囲環境とを連通する開口部(103,203)と、前記センシングセルの電極間に発生する起電力を検出する起電力検出手段と、前記ポンピングセルの電極間に電圧を印加する電圧源と、前記ポンピングセルの電極間に電圧を印加したとき前記ポンピングセルに流れる電流を酸素濃度を表わす信号として検出する電流検出手段とを備えた酸素濃度検出装置において、前記センシングセル及び前記ポンピングセルを構成する固体電解質が固体電解質薄膜(101,102;201,202)であり、前記固体電解質薄膜を物理的に補強する気体透過性の補強材(110,210)を前記固体電解質薄膜に直接または薄膜を介して接する形で備え、前記固体電解質薄膜の表面に電気絶縁性の薄膜(1071,2071)を介して接する薄膜状の電気的加熱手段(107,207)を備え、これらセンシングセル及びポンピングセル、補強材、電気的加熱手段がすべて前記閉空間(104,204)の同じ1面に形成されていることを特徴とする酸素濃度検出装置。
FI (2件)：
G01N 27/46 327 A
, G01N 27/46 327 H
