特許

J-GLOBAL ID：200903015868900256

研磨布ドレッシング方法およびその装置

発明者： 齊 藤 日出夫 ,  西 原 浩 巳 ,  平 田 博 信 ,  伊 藤 史 隆
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-149240
公開番号（公開出願番号）：特開平10-000550
出願日： 1996年06月11日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 研磨布の使用領域の幅以下の外径を有するドレッサ砥石を用いて研磨布のドレッシングを行う場合の最良の条件を見出し、ドレッシングした後の研磨布のドレッシング量の不均一性を排除し、平坦性を向上させる。【解決手段】 研磨布1の円環状の使用領域の幅よりも小さな外径を有する円形のドレッサ砥石2を回転定盤3上に固定した前記研磨布に押し付けながら前記使用領域に対して研磨布半径方向の往復運動を与え、研磨布3に回転運動を与えながら、研磨布3の使用領域内の半径方向各位置における前記ドレッサ砥石の摺動距離分布が均一となるように研磨布のドレッシングを行なう。

請求項（抜粋）：

研磨布の円環状の使用領域の幅よりも小さな外径を有する円形のドレッサ砥石を回転定盤上に固定した前記研磨布に押し付けながら前記使用領域に対して研磨布半径方向の往復運動を与え、前記研磨布に回転運動を与えながら、前記研磨布の使用領域内の半径方向各位置における前記ドレッサ砥石の摺動距離分布が均一となるように研磨布のドレッシングを行なうことを特徴とする研磨布ドレッシング方法。