照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-090959
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271619
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザー光源のような高出力の光源に対してもロッド型インテグレータが破壊されることのない照明光学装置。【解決手段】光源手段(1)からの光束を集光するためのコンデンサー光学系(5)と、集光点(F)から光源とは反対側に所定距離だけ間隔を隔てて配置された入射面を有し、該入射面に入射した光束に基づいて複数の光源を形成するためのロッド型オプティカルインテグレータ(6)と、複数の光源からの光束を集光して被照射面(8、10)を照明するための結像光学系(7)とを備えている。

請求項（抜粋）：

光束を供給するための光源手段と、前記光源手段からの光束を集光するためのコンデンサー光学系と、前記コンデンサー光学系を介して形成される集光点から光源とは反対側に所定距離だけ間隔を隔てて配置された入射面を有し、該入射面に入射した光束に基づいて複数の光源を形成するためのロッド型オプティカルインテグレータと、前記ロッド型オプティカルインテグレータにより形成された前記複数の光源からの光束を集光して被照射面を照明するための結像光学系とを備えていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

G02B 19/00 , G03F 7/20 502 , H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 19/00 , G03F 7/20 502 , H01L 21/30 515 D

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