特許
J-GLOBAL ID：200903015874737928
投影画像又は投影画像及び断層画像を用いた検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154647
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005262
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 被検物の検査の際、投影画像中又は断層画像中の被検物位置を容易に一致させ、容易、迅速で、かつ高精度の検査を行なうことができる投影画像又は投影画像及び断層画像を用いた検査装置を提供することを目的とする。【構成】 第1及び第2の被検物32A,32Bの投影画像の投影角度θ毎のt軸重心位置を算出する投影画像重心算出部46A,46Bと、各々の投影画像の投影角度θ毎の慣性モーメントを算出する投影画像慣性モーメント算出部48A,48Bと、これら投影角度θ毎の重心位置並びに第1及び第2の被検物32A,32B間の回転成分を用いて、投影画像中の被検物位置が一致するように座標変換する投影画像変換部50A,50Bと、各々の投影画像間の差分画像を用いて、第1及び第2の被検物32A,32Bの差異の有無及びその程度を認識し、良否の判定を行なう判定部54とから構成されている。
請求項（抜粋）：
検査対象である第1の被検物及び基準となる第2の被検物にそれぞれX線を照射して、第1の投影画像及び第2の投影画像を得る手段と、前記第1の投影画像及び前記第2の投影画像の特徴量を抽出する手段と、前記特徴量を用いて前記第1の投影画像及び前記第2の投影画像を座標変換して、前記第1の投影画像及び前記第2の投影画像中の被検物位置を一致させる手段と、画像中の被検物位置を一致させた前記第1の投影画像及び前記第2の投影画像を差分又は合成して、前記第1の投影画像及び前記第2の投影画像間の差分画像又は合成画像を得る手段と、を備え、前記第2の被検物を基準とする前記第1の被検物の差異を検査することを特徴とする投影画像を用いた検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
