特許

J-GLOBAL ID：200903015893978952

差圧センサ及びそのダイヤフラム

発明者： 橋本 久儀 ,  佐藤 藤男 ,  田村 盛雄 ,  坂本 幸男
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 春日 讓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-306389
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142076
出願日： 1991年11月21日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】 差圧センサにおいて、検出特性の線形性及び検出精度を高め、動作信頼性を実用性のあるものとし、更に小型化する。加えて、そのダイヤフラムに関し、構造的に圧力検出精度を高くし、製作工程における各部の位置合せを正確に且つ簡単に行うことを可能とする。【構成】 2つの異なる圧力に感応し、2つの圧力の差を計測する差圧センサであり、少なくとも2つの起歪部2を有する圧力検出部材1を設け、2つの起歪部2の各受圧面の反対側面に、同時に製作される圧力検出用成膜部1Bを設ける。圧力検出部材1は1つの部材で形成されるか、又は少なくとも2つの孔52,53を有する支持部材51と2つの孔が開口する支持部材の端面に各孔の開口部を塞ぐように接合された板状部材54とから構成される。またダイヤフラム1Aは、単一の板状部材で形成され、少なくとも2つの薄肉部を形成することにより少なくとも2つの起歪部2を有し、これらの起歪部の成膜面が単一面である。更に成膜面の周囲に段差5を形成し、この段差5を利用して所定位置関係にある2つの位置合せ部を設けた。

請求項（抜粋）：

2つの異なる圧力に感応し、前記2つの圧力の差を計測する差圧センサにおいて、少なくとも2つの起歪部を有する圧力検出部材を設け、前記2つの起歪部の各受圧面の反対側面に、同時に製作される圧力検出用成膜部を設けたことを特徴とする差圧センサ。