特許

J-GLOBAL ID：200903015894611084

半導体製造装置用マガジン

発明者： 宮坂 英治
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250599
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072174
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】人為的ミスを起こしにくい、または、人為的ミスに迅速に対処できるストッパー構造を有する高信頼性の半導体製造装置用マガジンを提供する。【解決手段】半導体製造装置用マガジン10は、内部に案内溝11を有し、通用口12を利用して複数のリードフレームそれぞれ(図示せず)が案内溝11に従って収納または送出される。本発明では、上記通用口12において、周囲枠の案内溝11の無い所定部分に、少なくとも形成面が磁化されている凹部、例えば凹形状のマグネット131,132が形成されている。さらに、少なくとも両端部がフェライト系で構成されるストッパービーム14が設けられ、両端部がこのマグネット131,132に嵌め合わされる。

請求項（抜粋）：

複数のリードフレームそれぞれが案内溝に従って収納または送出される通用口と、前記通用口周囲の枠の所定部分に設けられ少なくとも形成面が磁化されている第1、第2の凹部と、両端部がそれぞれ前記第1、第2の凹部に嵌め合わされ前記案内溝に従って収納されているリードフレームの全てを前記通用口から出すのを防ぐ、磁力により着脱可能なストッパービームと、を具備したことを特徴とする半導体製造装置用マガジン。

IPC (2件)：

B65D 85/86 ,  H01L 23/50

FI (2件)：

B65D 85/38 G ,  H01L 23/50 Z

Fターム (10件)：

3E096AA06 ,  3E096BA19 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096DA05 ,  3E096DA09 ,  3E096EA06X ,  3E096EA06Y ,  3E096GA12 ,  5F067DA00