特許
J-GLOBAL ID：200903015894756880
薬液処理の制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210586
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061216
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】 薬液処理の制御方法に関し,装置を停止状態から処理可能状態にする過程において,薬液の消費量を低減し,且つ処理が可能になるまでの時間を短縮することを目的とする。【構成】 薬液処理装置を停止状態から処理可能状態にする過程において,処理槽内の残留薬液の残留量および該残留薬液の使用回数を確認し,該残留薬液が規定量に満たない場合は不足分を補充し,温度管理の必要な薬液に対しては規定温度に維持する制御を行うように構成する。
請求項（抜粋）：
薬液処理装置を停止状態から処理可能状態にする過程において,処理槽内の残留薬液の残留量および該残留薬液の使用回数を確認し,該残留薬液が規定量に満たない場合は不足分を補充し,温度管理の必要な薬液に対しては規定温度に維持する制御を行うことを特徴とする薬液処理の制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/306
, H01L 21/304 341
