特許
J-GLOBAL ID：200903015898157930
多段ルーツ型真空ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-177238
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018379
出願日： 1991年06月23日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】組立が簡単で、軸の剛性が落ちず、ロータにアンバランスが発生しない多段ルーツ型真空ポンプを提供する。【構成】ケーシング内を仕切板で仕切って形成された複数のポンプ室内毎に2個のロータを設けると共に、ロータをケーシング内の平行な2本の軸にそれぞれ取り付けている多段ルーツ型真空ポンプにおいて、ケーシングが軸線に対して平行に、少なくとも2分割されており、複数のロータが平行な2本の軸にキーやボルト等の締結材わ使用せず、一体的に取り付けられていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数のポンプ室を仕切板を介して軸線方向に直線上に並設し、第1段目のポンプ室の吸気口と他端に位置する最終段のポンプ室とを外部に外部に連続させ、各段の吸気口と排気口をそれぞれ仕切板に設けた開口により順次連続させたケーシングを有し、上記複数のポンプ室内にそれぞれ2個のロータを設けると共に、これら各段のロータをケーシング内の平行な2本の軸にそれぞれ取り付けている多段ルーツ型真空ポンプにおいて、上記ケーシングが軸線に対して平行に、少なくとも2分割されており、上記複数のロータが上記平行な2本の軸にキーやボルト等の締結材を使用せず、一体的に取り付けられていることを特徴とする多段ルーツ型真空ポンプ。
IPC (4件)：
F04C 25/02
, F04C 18/18
, F04C 23/00
, F04C 29/00
