特許

J-GLOBAL ID：200903015900192641

プローブ針の針先位置の検出方法及び検出装置

発明者： 勝見 栄雄 ,  米田 康司 ,  平野 貴之 ,  木下 隆 ,  後藤 裕史
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  ジェネシス・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-170536
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349929
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】 角錐形状の針先の如く、針先表面が鏡面状であるために従来は撮影が不可能であった針先を有するプローブ針について、その針先を撮影し得、ひいては、その針先の位置を検出し得るようにする。【解決手段】 プローブ針の針先9を照明手段41により照明し、撮影手段31により撮影し、得られた画像より前記針先9の位置を検出するプローブ針の針先位置の検出方法であって、前記針先9が少なくとも一つの平面部を有し、前記照明手段41からの光が前記針先9の平面部で正反射する方向に前記撮影手段31を配して前記針先9を撮影することを特徴とするプローブ針の針先位置の検出方法、及び、照明手段41からの光が前記針先9の平面部で正反射する方向に撮影手段31を配したことを特徴とするプローブ針の針先位置の検出装置。

請求項（抜粋）：

プローブ針の針先を照明手段により照明し、撮影手段により撮影し、得られた画像より前記針先の位置を検出するプローブ針の針先位置の検出方法であって、前記針先が少なくとも一つの平面部を有し、前記照明手段からの光が前記針先の平面部で正反射する方向に前記撮影手段を配して前記針先を撮影することを特徴とするプローブ針の針先位置の検出方法。

IPC (4件)：

G01R 31/28 ,  G01B 11/00 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (42件)：

2F065AA04 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065BB05 ,  2F065BB25 ,  2F065CC00 ,  2F065CC19 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065PP04 ,  2F065PP05 ,  2F065PP11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ28 ,  2G011AA09 ,  2G011AA16 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G032AE04 ,  2G032AE11 ,  2G032AF01 ,  2G032AL04 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD05 ,  4M106DD30