特許
J-GLOBAL ID:200903015904991700

粉塵除去方法とその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 澤 喜代治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-307286
公開番号(公開出願番号):特開平6-114225
出願日: 1991年09月09日
公開日(公表日): 1994年04月26日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、半導体製造業、製薬製造業、食品製造業等従来の粉塵ろ過装置では不可能であった微粉塵(0.3μ以下)ろ過を長期に渡って安定に行うことを目的とした粉塵除去方法とその装置を提供するものである。【構成】 本発明は、含塵気流中から粉塵をろ過する為の固定補強あるいは強化されたフィルター-I(円柱状、円錐状、平面状等)及び前処理用のフィルターとフィルター-I表面の粉塵を取り除く両方の機能を持つ可動式ブラシ等(回転運動及び直線運動)から成るフィルター-IIを備えたものを用いる粉塵除去方法。
請求項(抜粋):
含塵気流中から粉塵をろ過捕集する為の固定補強あるいは強化されたフィルター-I(円柱状、円錐状、平面状等)及び前処理用のフィルターとフィルター-I表面の粉塵を取り除く両方の機能を持つ可動式ブラシ等(回転運動及び直線運動)から成るフィルター-IIを備える構造を持つ粉塵除去方法とその装置。尚、本方法とその装置は単数或いは複数を組み合わせて使用してもよい。

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